Simone等离子清洗仪
的有关信息介绍如下：
等离子清洗仪，也称等离子清洁机或等离子表面处理仪，是一种利用等离子体对材料表面进行处理的设备 。其原理是通过对工艺气体施加电场使之电离成为等离子体，利用其中包含的离子、电子、自由基等活性组分与材料表面发生物理和化学反应 。主要功能是实现材料表面的清洁，同时也能对表面进行刻蚀、活化和改性 。
该设备主要用于透射电镜（TEM）和扫描电镜（SEM）的样品制备，以清除样品表面的碳氢化合物污染，也应用于半导体制造、电子、汽车、医疗器械及航空航天等领域 。设备通常采用数字化控制系统与触摸屏操作界面，具备多语言支持 。其真空系统可实现快速抽真空与清洗，常用工作气体包括氢气、氧气和氩气，射频频率常见为13.56MHz 。
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