极紫外光刻（一种纳米级光刻技术）
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极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。
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极紫外光刻（一种纳米级光刻技术）
Simone
发布于 2026-10-25 04:26:04
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