Simone无油真空
的有关信息介绍如下：
无油真空（oil-free vacuum）是1993年公布的电子学名词。 该技术通过干式泵（也称为无油真空泵）实现，主要包括容积式（如螺杆式、爪型、活塞式、涡旋式）和动量传输式（如涡轮式）等类型。 其核心在于泵的抽气流道中不使用任何油类和液体，避免了油蒸气对被抽容器和环境的污染，但机械传动部分可能仍需润滑，需通过结构设计进行隔离。 主要应用于半导体制造（如光刻、刻蚀、薄膜沉积）、光伏产业、电子显微镜、制药冻干、食品包装、医疗设备及航空航天等需要高洁净真空环境的领域。
在干式真空泵的研制方面，1987年开展了密封无油泵的抽气能力试验。1998年，对涡旋式无油真空泵的抽气机理进行了深入研究。 2015年4月，成功开发了第一台高真空螺杆真空泵。2016年，相关螺杆真空泵产品通过省级新产品鉴定，并获得了多项国家发明专利。国内相关企业随后在变螺距螺杆泵、耐腐蚀泵等产品上持续取得进展，相关产品获评省级制造业首台套。 国内相关技术已在14nm先进逻辑芯片及128层以上3D NAND等先进制程实现批量应用。
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