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通孔

通孔

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通孔

在集成电路设计中,通孔是绝缘氧化物层中的一个小开口,允许不同层之间的导电连接,图1 为电镀通孔示意图,合包与分包(pack and unpack,PAU)工艺被用于制备通孔阵列。

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