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绝缘埋层

绝缘埋层

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绝缘埋层

绝缘埋层是三明治结构绝缘体上硅材料的中间绝缘薄层。一般为二氧化硅薄膜,故常称“氧化物埋层”。具有很高的电阻率和击穿场强,是能保证良好电绝缘性的薄膜,三明治结构中绝缘埋层将器件制作层与衬底在电学上隔离开,从而减少衬底对器件性能的影响。

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