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低温真空探针台系统

低温真空探针台系统

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低温真空探针台系统

低温真空探针台系统是一种工艺试验仪器,用于化学、半导体器件、材料科学等领域的精密测试 。

该系统可在真空与高低温(如4.2K至475K或更宽)环境下工作,通过显微镜观察与精密探针定位,对晶圆、器件及纳米材料等进行非破坏性的电学、光电等特性测量 。

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