超纯气体

超纯气体

超纯气体是纯度高于99.999%的高纯化学试剂，部分领域要求达99.9999%（6N级）至9N级。该气体分为单一气体和混合气体，涵盖二氧化硫、一氧化碳、氦气等类型，应用于半导体制造、光纤生产、核磁共振成像等领域，其中7纳米以下芯片制程普遍需6N至7N级纯度气体 。制备方法包括低温精馏法、吸附法、膜分离法等。光热催化甲酸裂解技术可制备纯度99.9999%以上的一氧化碳气体 。

超纯气体原料来自空气、天然气及化工尾气，贮运采用高压钢瓶或低温液化容器。钢瓶运输便捷但纯度稳定性较低，液化容器存储量大但存在气体损耗。半导体级气体需控制粒度＞0.5μm尘粒数每升小于3个，阀门材料晶粒度影响气体纯度控制 。

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