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油扩散真空泵

油扩散真空泵

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油扩散真空泵

油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵,简称油扩散泵。其原理是在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

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