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集成电路测试仪

集成电路测试仪

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集成电路测试仪

集成电路测试仪是用于检测集成电路性能的专用仪器设备,主要分为数字/模拟测试仪、功能/参数测试仪等类别。其发展历经四代:1965年第一代测试16管脚小规模集成电路,1980年第四代可测256管脚超大规模集成电路,21世纪测试速率达500MHz以上 。作为集成电路产业三大支撑技术之一,该设备通过PCI总线连接计算机控制测试系统,支持多工位并行测试 。

我国自70年代开始研制,1986年中科院计算所开发出ICT-2综合测试系统,1996年研制出测试速率40MHz的3190系统 。设备采用插槽式结构,配置10个通用插槽和继电器矩阵板,支持64管脚模拟集成电路及32管脚数字集成电路测试 。现代测试仪配备全浮动源模块(最高1200V/15A),支持第三代半导体测试,具备32工位并行异步测试能力 。主流产品可覆盖100管脚器件,测试速度达500KHz/Pin 。

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