衍射光学元件
的有关信息介绍如下：
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
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衍射光学元件
Simone
发布于 2026-09-16 05:30:47
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